Целната вредност на релативната влажност во полупроводничка (FAB) чиста просторија

Целната вредност на релативната влажност во чиста просторија со полупроводници (FAB) е приближно 30 до 50%, дозволувајќи тесна маргина на грешка од ±1%, како на пример во зоната на литографија - или уште помалку во далечната ултравиолетова обработка (DUV) зона – додека на друго место може да се релаксира до ±5%.
Бидејќи релативната влажност има низа фактори кои можат да ги намалат вкупните перформанси на чистите простории, вклучувајќи:
1. Раст на бактерии;
2. Опсег на удобност на собна температура за персоналот;
3. Се појавува електростатско полнење;
4. Корозија на метал;
5. Кондензација на водена пареа;
6. Деградација на литографијата;
7. Апсорпција на вода.

Бактериите и другите биолошки загадувачи (мувла, вируси, габи, грини) можат да напредуваат во средини со релативна влажност од повеќе од 60%. Некои бактериски заедници можат да растат при релативна влажност од повеќе од 30%. Компанијата верува дека влажноста треба да се контролира во опсег од 40% до 60%, што може да го минимизира влијанието на бактериите и респираторните инфекции.

Релативната влажност во опсег од 40% до 60% е исто така умерен опсег за удобност на човекот. Премногу влажност може да направи луѓето да се чувствуваат затнат, додека влажноста под 30% може да направи луѓето да се чувствуваат сува, испукана кожа, непријатност во дишењето и емоционална несреќност.

Високата влажност всушност го намалува акумулацијата на електростатички полнежи на површината за чиста просторија - посакуван резултат. Ниската влажност е идеална за акумулација на полнеж и потенцијално штетен извор на електростатско празнење. Кога релативната влажност надминува 50%, електростатските полнежи почнуваат брзо да се расфрлаат, но кога релативната влажност е помала од 30%, тие можат да опстојат долго време на изолатор или на незаземјена површина.

Релативната влажност помеѓу 35% и 40% може да се користи како задоволителен компромис, а полупроводничките чисти простории обично користат дополнителни контроли за ограничување на акумулацијата на електростатско полнење.

Брзината на многу хемиски реакции, вклучувајќи ги и процесите на корозија, ќе се зголеми со зголемувањето на релативната влажност. Сите површини изложени на воздух околу чистата просторија се брзи.