Секундарна шема за повратен воздух за систем за климатизација

Микро-електронската работилница со релативно мала површина на чиста просторија и ограничен радиус на повратен воздушен канал се користи за усвојување на шемата за секундарен повратен воздух на системот за климатизација. Оваа шема исто така најчесто се користи вочисти собиво други индустрии како што се фармацевтските производи и медицинската нега. Бидејќи волуменот на вентилација за да се исполнат барањата за влажност на чиста собна температура е генерално многу помал од волуменот на вентилација потребен за да се достигне нивото на чистота, затоа, температурната разлика помеѓу доводниот воздух и повратниот воздух е мала. Ако се користи шемата за примарен повратен воздух, температурната разлика помеѓу точката на состојбата на доводниот воздух и точката на росење на единицата за климатизација е голема, потребно е секундарно загревање, што резултира со поместување на студената топлина во процесот на обработка на воздухот и поголема потрошувачка на енергија . Ако се користи шемата за секундарен повратен воздух, секундарниот повратен воздух може да се користи за замена на секундарното загревање на шемата за примарниот повратен воздух. Иако прилагодувањето на односот на примарниот и секундарниот повратен воздух е малку помалку чувствително од прилагодувањето на секундарната топлина, шемата за секундарен повратен воздух е широко препознаена како мерка за заштеда на енергија на климатизацијата во мали и средни микро-електронски чисти работилници. .

Земете ја чистата работилница за микроелектроника ISO класа 6 како пример, чистата површина на работилницата од 1 000 m2, висината на таванот од 3 m. Параметрите за внатрешен дизајн се температура tn= (23±1) ℃, релативна влажност φn=50%±5%; Дизајнерскиот волумен на довод на воздух е 171.000 m3/h, околу 57 h-1 времето на размена на воздух, а волуменот на свеж воздух е 25.500 m3/h (од кои волуменот на издувниот воздух на процесот е 21.000 m3/h, а остатокот е волумен на воздух со истекување со позитивен притисок). Разумното топлинско оптоварување во чистата работилница е 258 kW (258 W/m2), односот топлина/влажност на клима уредот е ε=35 000 kJ/kg, а температурната разлика на повратниот воздух во просторијата е 4,5 ℃. Во тоа време, примарниот повратен воздух волумен на
Ова е моментално најчесто користената форма на систем за прочистување на климатизацијата во чиста соба во индустријата за микроелектроника, овој тип на систем главно може да се подели на три вида: AHU+FFU; МАУ+АХУ+ФФУ; MAU+DC (Сува калем) + FFU. Секој има свои предности и недостатоци и соодветни места, ефектот на заштеда на енергија главно зависи од перформансите на филтерот и вентилаторот и другата опрема.

1) AHU+FFU систем.

Овој тип на системски режим се користи во индустријата за микроелектроника како „начин на одвојување на фазата на климатизација и прочистување“. Може да има две ситуации: едната е дека системот за климатизација се занимава само со свеж воздух, а третираниот свеж воздух го поднесува целото оптоварување со топлина и влажност на чистата просторија и делува како дополнителен воздух за да го балансира издувниот воздух и истекувањето на позитивен притисок. на чиста соба, овој систем се нарекува и систем MAU+FFU; Другото е дека волуменот на свеж воздух сам по себе не е доволен за да ги задоволи потребите за оптоварување со студ и топлина на чистата просторија, или затоа што свежиот воздух се обработува од надворешната состојба до точката на росење, специфичната енталпија разлика на потребната машина е преголема. , а дел од внатрешниот воздух (еквивалент на повратен воздух) се враќа во единицата за третман на климатизација, се меша со свеж воздух за третман на топлина и влажност, а потоа се испраќа до пленумот за снабдување со воздух. Помешано со преостанатиот повратен воздух за чиста просторија (еквивалентно на секундарниот повратен воздух), тој влегува во единицата FFU и потоа го испраќа во чистата просторија. Од 1992 до 1994 година, вториот автор на овој труд соработуваше со компанија од Сингапур и доведе повеќе од 10 дипломирани студенти да учествуваат во дизајнот на заедничкото вложување САД и Хонг Конг SAE Electronics Factory, кое го усвои вториот вид на климатизација за прочистување и систем за вентилација. Проектот има чиста просторија од ISO класа 5 од приближно 6.000 m2 (од кои 1.500 m2 беа договорени од Јапонската атмосферска агенција). Собата за климатизација е поставена паралелно со страната на чистата соба по надворешниот ѕид, а само до коридорот. Цевките за свеж воздух, издувниот воздух и повратниот воздух се кратки и непречено распоредени.

2) MAU+AHU+FFU шема.

Ова решение најчесто се наоѓа во постројки за микроелектроника со повеќе барања за температура и влажност и големи разлики во оптоварувањето со топлина и влажност, а нивото на чистота е исто така високо. Во лето, свежиот воздух се лади и одвлажнува до фиксна параметарска точка. Обично е соодветно да се третира свежиот воздух до пресечната точка на изометриската енталписка линија и линијата на релативна влажност од 95% во чистата просторија со репрезентативна температура и влажност или чистата просторија со најголем волумен на свеж воздух. Волуменот на воздухот на MAU се одредува според потребите на секоја чиста просторија за надополнување на воздухот и се дистрибуира до AHU на секоја чиста просторија со цевки според потребниот волумен на свеж воздух и се меша со малку повратен внатрешен воздух за топлина. и третман на влажност. Оваа единица го носи целото оптоварување со топлина и влажност и дел од новото оптоварување за ревматизам на чистата просторија што ја опслужува. Воздухот што го третира секој AHU се испраќа до доводниот воздух пленум во секоја чиста просторија, а по секундарното мешање со внатрешниот повратен воздух, тој се испраќа во просторијата од единицата FFU.

Главната предност на растворот MAU+AHU+FFU е тоа што освен што обезбедува чистота и позитивен притисок, ги обезбедува и различните температури и релативната влажност потребни за производство на секој процес на чиста просторија. Сепак, често поради бројот на поставени AHU, зафаќајте ја просторијата на просторијата е голема, чистата просторија свеж воздух, повратниот воздух, цевководите за снабдување со воздух вкрстени, зафаќаат голем простор, распоредот е попроблематичен, одржувањето и управувањето се потешко и сложени, затоа, нема посебни барања колку што е можно за да се избегне употребата.