Шема за секундарен повратен воздух за систем за климатизација

Микроелектронската работилница со релативно мала површина на чиста просторија и ограничен радиус на каналот за враќање на воздухот се користи за да се усвои шемата за секундарен повратен воздух на системот за климатизација. Оваа шема е исто така често користена вочисти собиво други индустрии како што се фармацевтската индустрија и медицинската нега. Бидејќи волуменот на вентилација за да се задоволат барањата за влажност на чистата соба е генерално многу помал од волуменот на вентилација потребен за да се достигне нивото на чистота, затоа, температурната разлика помеѓу доводниот воздух и повратниот воздух е мала. Ако се користи шема на примарен повратен воздух, температурната разлика помеѓу точката на состојба на доводниот воздух и точката на росење на климатизерот е голема, потребно е секундарно греење, што резултира со неутрализирање на студената топлина во процесот на третман на воздух и поголема потрошувачка на енергија. Ако се користи шема на секундарен повратен воздух, секундарниот повратен воздух може да се користи за да се замени секундарното греење на шемата на примарен повратен воздух. Иако прилагодувањето на односот на примарниот и секундарниот повратен воздух е малку помалку чувствително од прилагодувањето на секундарната топлина, шемата на секундарниот повратен воздух е широко признаена како мерка за заштеда на енергија за климатизација во мали и средни работилници за микроелектронско чистење.

Да земеме за пример работилница за микроелектроника ISO класа 6, со површина од 1000 м2, висина на таванот од 3 м. Параметрите на внатрешен дизајн се температура tn = (23±1) ℃, релативна влажност φn = 50% ± 5%; Проектниот волумен на довод на воздух е 171.000 m3/h, околу 57 h-1 време на размена на воздух, а волуменот на свеж воздух е 25.500 m3/h (од кои волуменот на издувниот воздух од процесот е 21.000 m3/h, а остатокот е волумен на истечен воздух под позитивен притисок). Смисленото топлинско оптоварување во чистата работилница е 258 kW (258 W/m2), односот топлина/влажност на клима уредот е ε = 35.000 kJ/kg, а температурната разлика на повратниот воздух во просторијата е 4,5 ℃. Во овој момент, примарниот волумен на повратниот воздух од
Ова е моментално најчесто користената форма на систем за прочистување на климатизацијата во микроелектронската индустрија за чисти простории, овој тип на систем може главно да се подели на три вида: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (сув калем) +FFU. Секој има свои предности и недостатоци и соодветни места, а ефектот на заштеда на енергија главно зависи од перформансите на филтерот, вентилаторот и другата опрема.

1) Систем за AHU+FFU.

Овој тип на системски режим се користи во микроелектронската индустрија како „начин за одвојување на фазата на климатизација и прочистување“. Може да има две ситуации: првата е дека системот за климатизација работи само со свеж воздух, а третираниот свеж воздух го носи целото оптоварување со топлина и влажност на чистата просторија и делува како дополнителен воздух за да го балансира издувниот воздух и истекувањето под позитивен притисок на чистата просторија, овој систем се нарекува и MAU+FFU систем; другата е дека само волуменот на свеж воздух не е доволен за да ги задоволи потребите за оптоварување со студ и топлина на чистата просторија, или затоа што свежиот воздух се обработува од надворешна состојба до точката на росење, а разликата во енталпијата на потребната машина е преголема, а дел од воздухот во затворен простор (еквивалентен на повратен воздух) се враќа во единицата за третман на климатизација, се меша со свежиот воздух за третман на топлина и влажност, а потоа се испраќа до пленумот за снабдување со воздух. Измешан со преостанатиот повратен воздух во чистата просторија (еквивалентен на секундарен повратен воздух), влегува во единицата FFU, а потоа го испраќа во чистата просторија. Од 1992 до 1994 година, вториот автор на овој труд соработувал со сингапурска компанија и предводел повеќе од 10 постдипломски студенти да учествуваат во дизајнирањето на заедничкото вложување САД-Хонг Конг, SAE Electronics Factory, кое го усвоило вториот вид систем за климатизација и вентилација со прочистување. Проектот има чиста просторија ISO класа 5 од приближно 6.000 м2 (од кои 1.500 м2 се договорени од Јапонската атмосферска агенција). Просторијата за климатизација е распоредена паралелно со страната на чистата просторија по должината на надворешниот ѕид, и само во непосредна близина на ходникот. Цевките за свеж воздух, издувен воздух и повратен воздух се кратки и распоредени мазно.

2) Шема MAU+AHU+FFU.

Ова решение најчесто се наоѓа во микроелектронски постројки со повеќекратни барања за температура и влажност и големи разлики во оптоварувањето со топлина и влажност, а нивото на чистота е исто така високо. Во лето, свежиот воздух се лади и се суши до фиксна параметарска точка. Обично е соодветно свежиот воздух да се третира до пресечната точка на изометриската енталписка линија и линијата на релативна влажност од 95% на чистата просторија со репрезентативна температура и влажност или чистата просторија со најголем волумен на свеж воздух. Волуменот на воздух на MAU се одредува според потребите на секоја чиста просторија за надополнување на воздухот и се дистрибуира до AHU на секоја чиста просторија со цевки според потребниот волумен на свеж воздух и се меша со дел од внатрешниот повратен воздух за третман на топлина и влажност. Оваа единица го носи целото оптоварување со топлина и влажност и дел од новото оптоварување со ревматизам на чистата просторија што ја опслужува. Воздухот третиран од секоја AHU се испраќа до пленумот за доводен воздух во секоја чиста просторија и по секундарното мешање со внатрешниот повратен воздух, се испраќа во просторијата преку единицата FFU.

Главната предност на решението MAU+AHU+FFU е тоа што покрај обезбедувањето чистота и позитивен притисок, исто така обезбедува различни температури и релативна влажност потребни за производство на секој процес во чиста просторија. Сепак, честопати поради бројот на поставени AHU, површината во чистата просторија е голема, свежиот воздух, повратниот воздух и цевките за довод на воздух се пресечени, зафаќаат голем простор, распоредот е попроблематичен, одржувањето и управувањето се потешки и посложени, затоа нема посебни барања за да се избегне употребата колку што е можно повеќе.