BSLtech Полупроводнички РЕШЕНИЕ
Развивањето на вашата експертиза во индустријата за полупроводници често бара чисти простории или кабинети со ламинарен проток со висока ISO класа (ISO 5 или повисока). Дали се занимавате со процеси чувствителни на УВ? Дури и тогаш BSL ја обезбедува вистинската чиста соба. Чистите простории имаат висококвалитетна завршна обработка на ѕидот и имаат осветлување со УВ филтер. Со употреба на антистатички (ESD) материјали и антистатички шипки на системот за филтрирање, статичкото полнење во воздухот се неутрализира.
Кога дегасирањето не е посакувано, BSL нуди чиста просторија од материјали што не се испуштаат гасови (PU). Оваа технологија потекнува од воздушната индустрија.
Типични процеси во индустријата за полупроводници:
● Заштита на подлоги и силиконски наполитанки
● EUV Истражување
● Порамнувачи на маски
● Вакуумска облога, таложење на тенок филм
● Апликации за печатење
● Оптика
Предни и задни процеси