
BSLtech Полупроводничко решение
Развивањето на вашата експертиза во индустријата за полупроводници честопати бара чисти соби или кабинети за ламинарен проток со висока ISO класа (ISO 5 или повисока). Дали работите со процеси чувствителни на UV зрачење? Дури и тогаш BSL ја испорачува вистинската чиста соба. Чистите соби имаат висококвалитетна завршна обработка на ѕидовите и осветлување со UV филтер. Со употреба на антистатички (ESD) материјали и антистатички шипки на филтерскиот систем, статичкиот полнеж во воздухот се неутрализира.
Кога дегасификацијата не е посакувана, BSL нуди чиста просторија од материјали што не испуштаат гасови (PU). Оваа технологија потекнува од воздухопловната индустрија.
Типични процеси во полупроводничката индустрија:
● Заштита на подлоги и силиконски плочки
● EUV Истражување
● Порамнувачи за маски
● Вакуумско обложување, таложење на тенок филм
● Апликации за печатење
● Оптика
Front-end и back-end процеси